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      EZ4高精密勻膠機

       更新時間:2018-04-19 點擊量:2576

      產品介紹:

      名    稱:高精密勻膠機

      型    號:EZ4

      原產地:美國,USA

      應    用:在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

      產品概述:

      EZ4高精密勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物,使用工業級直流馬達和單片機控制,文本顯示器人機界面。
        EZ4高精密勻膠機被設計為結構緊湊、簡單易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱內操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼,PP材料內腔,經久耐用。

      EZ4高精密勻膠機性能參數:

      l   支持wafer尺寸:碎片(小于1cm)至100mm(4"圓晶)

      l   速度可調范圍:100-10000rpm

      l   加速度可調范圍:100-10000rpm/s

      l   轉速分辨率:1rpm

      l   轉速精度:<±5rpm

      l   可編程5組5步程序

      l   寬電壓輸入:AC100-230V

      產品特點:

      l   75W 直流無刷電機,單片機控制

      l   高清晰文本顯示器

      l   可單步和多步勻膠操作

      l   PP耐腐蝕內腔,可更換

      l   鋁合金陽極氧化外殼,美觀大方

      l   耐溶劑PC透明蓋

      l   多角度定位鉸鏈設計

      l   HDPE真空吸盤

      產品外型尺寸:
          250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)

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